O sistema vegetal precisa fornecer um suprimento estável de produtos químicos limpos, água ultrapura e gases de processo limpo em todo o Fab. Isso apresenta altos requisitos para a estabilidade e consistência do elemento de filtro usado em cada seção. O elemento de filtro de fluxo grande de Hangzhou Dali, elemento do filtro de segurança, elemento de filtro dobrável de alta precisão e série de elementos de filtro perfluorados fornecem serviço de filtragem estável para o sistema de gerenciamento de fábrica.