O sistema de instalações precisa fornecer produtos químicos limpos, água ultra pura e gás limpo para toda a FAB. Isso apresenta altos requisitos para a estabilidade e consistência dos elementos de filtro usados ​​em cada seção. O grande elemento de filtro de fluxo de Hangzhou Dali, elemento de filtro de segurança, elemento de filtro de dobramento de alta precisão e séries de produtos de filtro perfluorados fornecem serviço de filtragem estável para sistema de fábrica.